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一种微机电麦克风技术特征

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一种微机电麦克风技术特征
一种微机电麦克风技术特征
一种微机电麦克风技术特征
访问量 : 259
编辑时间 : 2019-11-26
信息标签 : MEMS夹具

一种微机电麦克风,包括:

支撑衬底(2;402;502;602;702;806),具有第一面(2a;402a)和第二面(2b;502b);

传感器芯片(5;305;505;805),接合至所述支撑衬底(2;402;502;602;702;806)的第一面(2a;402a)并且集成了微机电电声换能器(35;835);以及

控制芯片(6;106;206;306;406;506;606;806),具有在所述支撑衬底(2;402;702)的第一面(2a;402a)和第二面(2b;502b)之间的至少一个部分,并且可操作地耦合至所述传感器芯片(5;305;505;805);

传感器芯片(5;105),至少部分地设置在所述控制芯片(6;106)的顶部上。